EDS能譜判讀精準校正　分析偽訊號/能峰重疊(1)

作者： 鮑忠興
2024 年 07 月 03 日
TEM/EDS除了用於本文中提到的材料元素分析，TEM/EDS亦可應用於材料濃度的成份定量分析。EDS定量分析技術利用待分析物周圍已知成份，進行自我校正計算，可提高EDS定量分析的準確度。 隨著半導體製程已逼近物理極限，各國大廠不斷從材料著手想要突破研發瓶頸。材料分析對於改善半導體缺陷、提升製程良率，是非常重要的關鍵。現今的工程師想要解析微奈米材料時，經常會使用電子顯微鏡加裝X光能量散布能譜儀(X-ray...
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